Thermal diffusivity of thin films on a substrate measured by the photoacoustic method : sputtered Ti and Zr films
Thermal diffusivity of thin films on a substrate measured by the photoacoustic method : sputtered Ti and Zr films
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通过光声法测量基板上薄膜的热扩散率：溅射 Ti 和 Zr 膜
DOI：
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发表时间：
1993
影响因子：
1.1
通讯作者：
Y. Nagasaka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Akabori;O. Sawajiri;Y. Nagasaka
