Czochralski growth of heavily tin-doped Si crystals
Czochralski growth of heavily tin-doped Si crystals
复制标题
重锡掺杂硅晶体的直拉法生长
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Y. Tokumoto and Y. Ohno
中科院分区:
文献类型:
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作者:
I. Yonenaga;T. Taishi;K. Inoue;R. Gotoh;K. Kutsukake;Y. Tokumoto and Y. Ohno