超薄膜内部構造のアニール温度依存性について

超薄膜内部構造のアニール温度依存性について
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关于超薄膜内部结构的退火温度依赖性

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
竹内教貴
竹内教貴
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
ムスチントグシ,吉田孝;金本大成,中島秀喜;相原真志,小林紘士,松川真吾;竹内教貴

文献摘要

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