SOI-nMOSFETにおける機械的応力効果のゲート長さおよび負荷方向依存性のデバイスシミュレーション

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SOI-nMOSFET 中机械应力效应的栅极长度和负载方向依赖性的器件仿真

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
塩田智基,小金丸正明,塩塚航生,松本聡,池田徹
塩田智基,小金丸正明,塩塚航生,松本聡,池田徹
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kanazawa Seiji;Mizeraczyk Jerzy;Nakatani Toshiaki;Kuno Akihito;Furuki Takashi;Tachibana Kosuke;Ichiki Ryuta;Kocik Marek;塩田智基,小金丸正明,塩塚航生,松本聡,池田徹

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