A concept for the deposition of adherent cubic boron nitride films
A concept for the deposition of adherent cubic boron nitride films
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沉积粘附立方氮化硼薄膜的概念
DOI：
10.1016/s0040-6090(00)01318-3
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
M. Plass
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Kulisch;R. Freudenstein;A. Klett;M. Plass
