昆虫模倣翼のMEMSプロセスによる試作とその性能評価
昆虫模倣翼のMEMSプロセスによる試作とその性能評価
复制标题
MEMS工艺仿昆虫翅膀原型制作及其性能评估
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
荒木正輝,石原大輔,村上直,堀江知義
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Daisuke Ishihara;Tomoyoshi Horie;Tomoya Niho;荒木正輝,石原大輔,村上直,堀江知義