昆虫模倣翼のMEMSプロセスによる試作とその性能評価

昆虫模倣翼のMEMSプロセスによる試作とその性能評価
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MEMS工艺仿昆虫翅膀原型制作及其性能评估

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
日本機械学会大7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
荒木正輝,石原大輔,村上直,堀江知義
荒木正輝,石原大輔,村上直,堀江知義
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Daisuke Ishihara;Tomoyoshi Horie;Tomoya Niho;荒木正輝,石原大輔,村上直,堀江知義

文献摘要

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