森 勇藏, 垣内弘章, 大参宏昌, 芳井熊安, 安武 潔, 中濱康治: "大気圧プラズマCDV法によるSiN_xの成膜特性"精密工学会誌. 70,2. 292-296 (2004)

Yuzo Mori、Hiroaki Kakiuchi、Hiromasa Osami、Kumayasu Yoshii、Kiyoshi Yasutake、Yasuharu Nakahama：“利用大气压等离子体 CDV 方法的 SiN_x 成膜特性”日本精密工程学会杂志 70,2。