ナノシリコン弾道電子源を用いたCu薄膜のプリンティング堆積
ナノシリコン弾道電子源を用いたCu薄膜のプリンティング堆積
复制标题
使用纳米硅弹道电子源印刷沉积铜薄膜
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
越田信義
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
須田隆太郎;八木麻実子;小島明;R. Mentek;白樫淳一;越田信義
