Preparation and Characterization of Electrochemically Deposited Silicon Films in Ionic Liquid from Polysilicon Byproduct SiCl4

Preparation and Characterization of Electrochemically Deposited Silicon Films in Ionic Liquid from Polysilicon Byproduct SiCl4
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DOI：
10.20964/2018.09.51
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发表时间：
2018
期刊：
International Journal of Electrochemical Science
影响因子：
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通讯作者：
Chenglong Zhang
Chenglong Zhang
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Zhanxia Zhao;Jingjing Liu;Chenglong Zhang

文献摘要

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