Characterization of a New Helicon Plasma Source with a Segmented Multi-Loop Antenna
Characterization of a New Helicon Plasma Source with a Segmented Multi-Loop Antenna
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具有分段多环天线的新型 Helicon 等离子体源的表征
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takao Tanikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
谷川隆夫;山際啓一郎;船木一幸;佐藤杉弥;篠原俊二郎;S. Shinohara and S. Horii;谷川 隆夫;谷川 隆夫;Shunjiro Shinohara;本村大成;本村大成;谷川隆夫;本村大成;本村 大成;本村大成;谷川隆夫;本村大成;本村大成;本村大成;Takao Tanikawa;Taisei Motomura;Takao Tanikawa;Taisei Motomura;Taisei Motomura;Taisei Motomura;本村大成;本村大成;Takao Tanikawa
