斜め入射堆積法により作製したTiO2膜の熱処理効果
斜め入射堆積法により作製したTiO2膜の熱処理効果
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斜入射沉积法制备TiO2薄膜的热处理效果
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星陽一，平井照通，北原直人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunari Shinbo;Yasuo Ohdaira;Akira Baba;Keizo Kato and Futao Kaneko;星陽一，平井照通，北原直人
