电磁场模拟磁控溅射装置中磁场的空间分布
电磁场模拟磁控溅射装置中磁场的空间分布
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
周艳文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王晓明;高健波;周艳文
