Preparation of TaO2 thin film using NbO2 template layers by a pulsed laser deposition technique
Preparation of TaO2 thin film using NbO2 template layers by a pulsed laser deposition technique
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脉冲激光沉积技术使用 NbO2 模板层制备 TaO2 薄膜
DOI:
10.1016/j.tsf.2015.12.066
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
2.1
通讯作者:
T. Yokoya
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. Muraoka;Y. Fujimoto;M. Kameoka;Y. Matsuura;M. Sunagawa;K. Terashima;T. Wakita;T. Yokoya