Kikuo Tominaga :"Energetic O^- Ions and OAtoms in Planar Magnetron Sputtering of ZnO Target" Jpn.J.Appl.Phys.32. 4131-4135 (1993)
Kikuo Tominaga :"Energetic O^- Ions and OAtoms in Planar Magnetron Sputtering of ZnO Target" Jpn.J.Appl.Phys.32. 4131-4135 (1993)
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Kikuo Tominaga:“ZnO 靶平面磁控管溅射中的高能 O^- 离子和 OAtom”Jpn.J.Appl.Phys.32。
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