MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜アクチュエータアレイと個別駆動用有機ダイオード素子の形成
MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜アクチュエータアレイと個別駆動用有機ダイオード素子の形成
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用于 MEMS 触觉显示器的 SMA 厚膜致动器阵列和独立驱动有机二极管元件的形成
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
峯田貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
天野晏年;斎藤涼;山田将也;松井弘之;峯田貴
