Influence of Na<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>-Electrlytic Oxidizing Water on Polishing Surface of Oxygen Free Copper
Influence of Na<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>-Electrlytic Oxidizing Water on Polishing Surface of Oxygen Free Copper
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Na<sub>2</sub>SO<sub>4</sub>-电解氧化水对无氧铜抛光表面的影响
DOI:
10.2493/jjspe.87.772
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发表时间:
2021
影响因子:
--
通讯作者:
佐藤運海 川久保英樹
中科院分区:
文献类型:
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作者:
柏井悠司; 山口彪我;原宣宏;佐藤運海 川久保英樹;佐藤運海 川久保英樹