Carbon nano- mechanical resonator fabrication from PMMA by FIB/electron-beam dual-beam lithography
Carbon nano- mechanical resonator fabrication from PMMA by FIB/electron-beam dual-beam lithography
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通过 FIB/电子束双束光刻从 PMMA 制造碳纳米机械谐振器
DOI：
10.1116/1.3662083
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Ishihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Kometani;T. Hatakeyama;K. Kuroda;S.Warisawa;and S. Ishihara
