超臨界流体を利用した金属薄膜堆積技術
超臨界流体を利用した金属薄膜堆積技術
复制标题
使用超临界流体的金属薄膜沉积技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
近藤英一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hirotake Kajii;Yusuke Kusumoto;Daiki Terashima;and Yutaka Ohmori;T. Nakamura;近藤英一
