スパッタAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造における貫通転位近傍のCL強度ラインプロファイル
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溅射 AlN 模板上 AlGaN 量子阱结构中螺纹位错附近的 CL 强度线轮廓
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤井恵;大西悠太;稲井滉介;押村遼太;倉井聡;岡田成仁;上杉謙次郎;三宅秀人;山田陽一
