鉾井耕司, 赤澤正道, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価-ガス圧依存性および気体混合による効果-"電気学会放電研究会資料. ED-01-113. 1-9 (2001)
鉾井耕司, 赤澤正道, 菅原広剛, 須田善行, 酒井洋輔: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価-ガス圧依存性および気体混合による効果-"電気学会放電研究会資料. ED-01-113. 1-9 (2001)
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Koji Hokoi、Masamichi Akazawa、Hirotake Sugara、Yoshiyuki Suda、Yosuke Sakai：“使用 C_7F_<16> 沉积 C:F 薄膜及其评估 - 气压依赖性和气体混合的影响 -”IEEJ 放电研究会议材料。 -113。1-9（2001）
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