YAGレーザを用いたSnO_2系薄膜バターンの高速加工とその加工メカニズムに関する研究
YAGレーザを用いたSnO_2系薄膜バターンの高速加工とその加工メカニズムに関する研究
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YAG激光高速加工SnO_2基薄膜图案及其加工机理研究
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
臼井 玲大;佐藤 了平;他
