非蒸発型ゲッターを封入した真空装置中への希ガス流入量の評価
非蒸発型ゲッターを封入した真空装置中への希ガス流入量の評価
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稀有气体流入包含非蒸发型吸气剂的真空装置的评估
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上妻幹旺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小田拓実;井上遼太郎;細谷俊之;上妻幹旺
