Preparation of c-BN containing films by reactive r.f. sputtering
Preparation of c-BN containing films by reactive r.f. sputtering
复制标题
反应性射频制备含 c-BN 薄膜
DOI：
10.1016/0925-9635(93)90171-w
复制
发表时间：
1993
影响因子：
4.1
通讯作者：
M. Grischke
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Bewilogua;J. Buth;H. Huebsch;M. Grischke
