Self-aligned Metal Double-gate P-channel Low-temperature Poly-Si TFTs Fabricated by DPSS CW Green Laser Lateral Crystallization
Self-aligned Metal Double-gate P-channel Low-temperature Poly-Si TFTs Fabricated by DPSS CW Green Laser Lateral Crystallization
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DPSS连续绿光激光横向晶化自对准金属双栅P沟道低温多晶硅TFT
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akito Hara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tadashi Sato;Kenta Hirose;Kuninori Kitahara;Akito Hara
