Takanori Ichiki: "Control of etching residue in deep borosilicate glass etching for MEMS fabrication"Proc.23^<rd> Int.Symp.on Dry Process. 23. 63-68 (2001)
Takanori Ichiki: "Control of etching residue in deep borosilicate glass etching for MEMS fabrication"Proc.23^<rd> Int.Symp.on Dry Process. 23. 63-68 (2001)
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Takanori Ichiki：“MEMS 制造中深硼硅酸盐玻璃蚀刻中蚀刻残留物的控制”Proc.23^<rd> Int.Symp.on Dry Process。
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