ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性
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ZnO薄膜厚度剪切模式谐振器的制作及负载液体时的频率特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷 隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮田 昌哉;高柳 真司;松川 真美;柳谷 隆彦
