Y.Suda, Y.Misato, and D.Shiratori: "Si Atomic-Layr Epitaxy Using Thermally-Cracked Si_2H_6" J.Crystal Growth. (submitted).
Y.Suda, Y.Misato, and D.Shiratori: "Si Atomic-Layr Epitaxy Using Thermally-Cracked Si_2H_6" J.Crystal Growth. (submitted).
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Y.Suda、Y.Misato 和 D.Shiratori：“使用热裂化 Si_2H_6 进行硅原子层外延”J.晶体生长。
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