Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid for Shallow Implantation
Polyatomic Ion Source with Ionic Liquid for Shallow Implantation
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用于浅植入的离子液体多原子离子源
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Takeuchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西本昌彦;G.H.Takaoka;T.Kawai;井上恵介,金子峰雄;山本勝之他;蔵徹郎,藤永清久;米沢友里子他;西本昌彦;G.H.Takaoka;川村一代他;糸崎俊介;川村 一代;Masahiko Nishimoto;住友 祐馬;市橋岳;西本昌彦;早川達也;西本昌彦;向井寛;山本勝之;戸村公亮;H.Ryuto;P.Sommani;中尾健志;川村 一代;M.Takeuchi
