高能率 ・高精度研磨法の新提案
高能率 ・高精度研磨法の新提案
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高效高精度抛光方法新方案
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田北隆浩,久保田章亀,本山修也,峠 睦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihisa Kubota;Shuya Motoyama;SakaeFukuyama;Mutsumi Touge;本山修也,久保田章亀,峠 睦;永江 伸,久保田章亀,本山修也,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,本山修也,峠 睦
