選択成長法による反りのない高品質ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の作製

選択成長法による反りのない高品質ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の作製
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使用选择性生长方法制造高质量无翘曲异质外延金刚石基板

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
海老澤芽衣,児玉英之,鈴木一博,澤邊厚仁
海老澤芽衣,児玉英之,鈴木一博,澤邊厚仁
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ishibashi;T.;榮野川優也,小野尋子;石橋俊之;石橋俊之;石橋俊之;Y. Sakai and T. Karaki;海老澤芽衣,児玉英之,鈴木一博,澤邊厚仁

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