窒化コバルト薄膜へのレーザー描画による微構造形成
窒化コバルト薄膜へのレーザー描画による微構造形成
复制标题
氮化钴薄膜激光绘图形成微结构
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉川信一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
斎藤亮治;鱒渕友治;本橋輝樹;吉川信一