水酸化フラーレン混合スラリーにおける研磨微粒子の挙動観察 材料除去メカニズムに関する考察
水酸化フラーレン混合スラリーにおける研磨微粒子の挙動観察 材料除去メカニズムに関する考察
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氢氧化富勒烯混合浆料中磨粒行为的观察及材料去除机理的探讨
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村川渉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
YAMASHITA MASAHIRO;MORIMOTO YOSHITAKA;HAYASHI AKIO;NAKAGAKI KATSUYOSI;村川渉
