古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチングによる微細加工技術" 日本機械学会極限加工システムに関する研究成果報告書. 30-41 (1989)
古川勇二,横川宗彦ら: "異方性エッチングによる微細加工技術" 日本機械学会極限加工システムに関する研究成果報告書. 30-41 (1989)
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Yuji Furukawa、Munehiko Yokokawa 等人：“使用各向异性蚀刻的微加工技术”日本机械工程师学会极限加工系统研究结果报告 30-41 (1989)。
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