石田 誠,中村 哲郎: "電子ビ-ム照射によるAl_2O_3上へのSi選択エピタキシャル成長" 第39回応用物理学関係連合講演会シンポジウム講演「電子綿励起プロセス」. (1992)
石田 誠,中村 哲郎: "電子ビ-ム照射によるAl_2O_3上へのSi選択エピタキシャル成長" 第39回応用物理学関係連合講演会シンポジウム講演「電子綿励起プロセス」. (1992)
复制标题
Makoto Ishida、Tetsuro Nakamura：“通过电子束照射在 Al_2O_3 上选择性外延生长”第 39 届应用物理协会研讨会演讲“电子棉激发过程”(1992)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
