Size Effect of Finite Deformable Nanopillar by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition
Size Effect of Finite Deformable Nanopillar by Focused-ion-beam Chemical Vapor Deposition
复制标题
聚焦离子束化学气相沉积有限可变形纳米柱的尺寸效应
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoji Shibutani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiro Tanaka;Yoji Shibutani
