I.Yamada, J.Matsuo, E.C.Jones, D.Takeuchi, T.Aoki, K.Goto and T.Sugii: "Range and damage distribution in cluster ion implantation" Materials Research Society Symposium Proceedings. 438. 363-374 (1997)
I.Yamada, J.Matsuo, E.C.Jones, D.Takeuchi, T.Aoki, K.Goto and T.Sugii: "Range and damage distribution in cluster ion implantation" Materials Research Society Symposium Proceedings. 438. 363-374 (1997)
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I.Yamada、J.Matsuo、E.C.Jones、D.Takeuchi、T.Aoki、K.Goto 和 T.Sugii：“簇离子注入中的范围和损伤分布”材料研究学会研讨会论文集。
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