Si基板上にエピタキシャル成長したYSZ薄膜の電気伝導度の温度依存性
Si基板上にエピタキシャル成長したYSZ薄膜の電気伝導度の温度依存性
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Si 衬底上外延生长 YSZ 薄膜电导率的温度依赖性
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
篠崎和夫
中科院分区:
文献类型:
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作者:
海老澤琢;永原和聡;木口賢紀;脇谷尚樹;Cross Jeffrey;櫻井修;篠崎和夫