N2 concentration dependence of electrical conduction in partially nitrided SnOx thin-films deposited by reactive RF magnetron sputtering
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反应性射频磁控溅射沉积的部分氮化 SnOx 薄膜中电导率的 N2 浓度依赖性
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Aikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kawaguchi;K. Watanabe;S. Aikawa
