Novel Fabrication Process of Thin Diaphragm in LiNbO_3 for Pressure Sensors Used in Harsh Environment
Novel Fabrication Process of Thin Diaphragm in LiNbO_3 for Pressure Sensors Used in Harsh Environment
复制标题
恶劣环境下压力传感器用LiNbO_3薄隔膜的新制作工艺
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.B.Randles
中科院分区：
文献类型：
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作者：
氷室昭三;黒田英里;氷室昭三;氷室昭三;氷室昭三;氷室昭三;大野 武雄;A.B.Randles
