Y.Ohki et al.: "Direct deposition of a blanket tungsten layer on SiO_2 by preexposure of helium plasma"J. Appl. Phys.. 85. 8423-8426 (1999)
Y.Ohki et al.: "Direct deposition of a blanket tungsten layer on SiO_2 by preexposure of helium plasma"J. Appl. Phys.. 85. 8423-8426 (1999)
复制标题
Y.Ohki等人：“通过氦等离子体预曝光在SiO_2上直接沉积钨覆盖层”J。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
