Structural Analysis of Threading Dislocations in AlN Thin Films
Structural Analysis of Threading Dislocations in AlN Thin Films
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AlN 薄膜中螺纹位错的结构分析
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Ikuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Tokumoto;N. Shibata;T. Mizoguchi;T. Yamamoto;Y. Ikuhara
