都田昌之他: "清浄表面を確保した枚葉式シリコンウエハ表面処理装置" 平成7年度重点領域研究 極限集積化シリコン知能エレクトロニクス. (269). 186-191 (1996)
都田昌之他: "清浄表面を確保した枚葉式シリコンウエハ表面処理装置" 平成7年度重点領域研究 極限集積化シリコン知能エレクトロニクス. (269). 186-191 (1996)
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Masayuki Miyakoda 等人：“具有清洁表面的单晶圆硅晶圆表面处理设备”1995 年优先领域研究：极其集成的硅智能电子 (269)。
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