電子ビーム露光によるSiNxメンブレンの表と裏両 面への正方形Auパッチの作製
電子ビーム露光によるSiNxメンブレンの表と裏両 面への正方形Auパッチの作製
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通过电子束曝光在 SiNx 膜的正面和背面制作方形金贴片
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
朝田晴美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木健仁;朝田晴美
