Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect
Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect
复制标题
压缩空气效应非接触支撑精进台的定位特性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Hiroki SHIMIZU
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA;and Hiroki SHIMIZU
