三重野哲: プラズマプロセシング研究会資料. 6. 435-438 (1989)
三重野哲: プラズマプロセシング研究会資料. 6. 435-438 (1989)
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Satoshi Mieno：等离子体处理研究组材料。6. 435-438 (1989)
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