M. Nagatsu: "スロットアンテナ励起915MHzUHFプラズマの表面波モード特性"Proc. of 17th Symp. of Plasma Processing. 295-298 (2000)
M. Nagatsu: "スロットアンテナ励起915MHzUHFプラズマの表面波モード特性"Proc. of 17th Symp. of Plasma Processing. 295-298 (2000)
复制标题
M. Nagatsu：“缝隙天线激发的 915MHz UHF 等离子体的表面波模式特性”Proc. 第 17 次等离子体处理 (2000)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
