K.sasaki et al.: "Metallic Mode Ctrowth of ZrO_2 Based Thin Films for Gate Inculator Using Reactive Sputtering Technique"Proc, of 2001 AWAD. 93-97 (2001)

K.sasaki et al.: "Metallic Mode Ctrowth of ZrO_2 Based Thin Films for Gate Inculator Using Reactive Sputtering Technique"Proc, of 2001 AWAD. 93-97 (2001)
复制标题

K.sasaki等人:“使用反应溅射技术用于栅极绝缘体的ZrO_2基薄膜的金属模式生长”Proc,2001年AWAD。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献