T.Saito,et al.: "Gas Phase Chemistry Determing Silicon Contentsin CVD-WSix Proceescs" Proceedings of、Advanced Metallization for ULSI Applications in 1993. 473-479 (1994)
T.Saito,et al.: "Gas Phase Chemistry Determing Silicon Contentsin CVD-WSix Proceescs" Proceedings of、Advanced Metallization for ULSI Applications in 1993. 473-479 (1994)
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T. Saito 等人：“气相化学测定 CVD-WSix 工艺中的硅含量”，1993 年 ULSI 应用的高级金属化论文集。473-479 (1994)
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