Y.Watanabe,M.Shiratani and K.Koga: "Formation kinetics and control of dust particles in capacitively-coupled reactive plasmas"Physica Scripta. T89. 29-32 (2001)
Y.Watanabe,M.Shiratani and K.Koga: "Formation kinetics and control of dust particles in capacitively-coupled reactive plasmas"Physica Scripta. T89. 29-32 (2001)
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Y.Watanabe、M.Shiratani 和 K.Koga:“电容耦合反应等离子体中尘埃粒子的形成动力学和控制”Physica Scripta。
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