150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析
150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析
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150 kHz高功率脉冲串型电感耦合等离子体全局模型分析
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村 建
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kodai Shibata;Yuma Saito;Katsuyuki Takahashi;Seiji Mukaigawa;Koichi Takaki;Ken Yukimura;Hisato Ogiso and Shizuka Nakano;齋藤雄真,柴田晃大,高橋克幸,向川政治,高木浩一,行村 建
